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解決方案
Solution
液晶面板行業超純水系統

液晶面板行業超純水系統

在液晶面板的整個生產過程中，80%的工序需要大量用到超純水，且隨著液晶面板尺寸的增大以及顯示清晰度的提高，對超純水水質的要求也越來越高。

面板行業典型的超純水工藝流程

 

液晶面板的制程可劃分為三個階段

1、前段的半導體制程（array），也就是把晶體管的薄膜層做在玻璃基板上。
2、只中段則為灌液晶的組立制程（cell），即把彩色濾光片的玻璃與晶體管薄膜層的玻璃，組合在一起，中間灌入液晶。
3、月后段即為面板模塊，也就是把cell的背后加上背光板、鐵件與一些IC零件，成為所謂的面板模塊。

 

面板行業用水標準

水質指標

DIW

UPW

對應的處理方法

Resistivity(MQ ·cm)

≥16.5MΩ-cm

≥18.0MQ ·cm

/

Particle((0.5μm)

≤50 ea/ml

≤10 ea/ml

MMF/MF/RO/UF

Bacteria

≤10 Col/100ml

≤5 Col/100ml

MF/UV/UF

TOC(mg/L)

≤50ppb

≤20ppb

ACF&UV(185nm)

Silica(mg/L)

≤20ppb

≤5ppb

RO/UF/IX

DO(mg/L)

≤50ppb

≤30ppb

MDG

Na(mg/L)

≤0.5ppb

≤0.1ppb

Cation lon Exchanger

K(mg/L)

≤0.5ppb

≤0.1ppb

Cation lon Exchanger

Ca(mg/L)

/

/

Cation lon Exchanger

CO3-2(mg/L)

/

/

Anion lon Exchanger

HCO3-(mg/L)

/

/

Anion lon Exchanger

Cl-(mg/L)

/

≤1.0ppb

ACF &Anion lon Exchanger

SO4-2(mg/L)

/

/

 

 

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